MEMS質(zhì)量流量傳感器在微反應(yīng)器中的實(shí)戰(zhàn)案例?
MEMS質(zhì)量流量傳感器具有體積小、響應(yīng)快、精度高等優(yōu)點(diǎn)。它們可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)液體和氣體的流量,提供精確的數(shù)據(jù)支持。這些傳感器通過(guò)微型化的結(jié)構(gòu),能夠在微反應(yīng)器的有限空間內(nèi)進(jìn)行高效的流量調(diào)控和監(jiān)測(cè),確保反應(yīng)條件的穩(wěn)定性。
以下是MEMS質(zhì)量流量傳感器在微反應(yīng)器中的實(shí)戰(zhàn)案例:
1、生物制藥領(lǐng)域:在基于微流控生物反應(yīng)器的DNA分析實(shí)驗(yàn)中,利用MEMS流速傳感器可對(duì)微流通道中的液體流速進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制,確保DNA樣本在微小通道內(nèi)按設(shè)定的流量和速度傳輸,實(shí)現(xiàn)高通量、高精度的DNA分析實(shí)驗(yàn)。
2、精細(xì)化工領(lǐng)域:在生產(chǎn)高附加值的精細(xì)化工材料的微反應(yīng)器系統(tǒng)中,橫河電機(jī)開(kāi)發(fā)的新型MEMS微流量傳感器,因其與腐蝕性液體接觸的表面采用玻璃材質(zhì),傳感元件置于非接觸區(qū)域,可抵抗腐蝕性液體,能精確測(cè)量微反應(yīng)器中流體的質(zhì)量流量,保障生產(chǎn)過(guò)程的精準(zhǔn)控制。
3、氣體流量控制領(lǐng)域:在生命科學(xué)的生物反應(yīng)器中,微流道MEMS氣體流量芯片可用于控制其中的氣體流量,保證生物反應(yīng)器中氣體營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)供應(yīng)和氣體排出物的均衡,為生物培養(yǎng)和研究提供技術(shù)支撐。


