MEMS電容式加速度傳感器原理和mems是微機(jī)電系統(tǒng)應(yīng)用
工作原理不同，應(yīng)用領(lǐng)域不同。1、工作原理不同：MEMS傳感器基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，通過(guò)微小的機(jī)械或電子元件來(lái)測(cè)量和感知環(huán)境變化，而光纖傳感器基于光學(xué)原理，利用光信號(hào)的傳輸和變化來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量和感知。2、應(yīng)用領(lǐng)域不同：MEMS傳感器主要應(yīng)用于微型化物體或系統(tǒng)中，有智能手機(jī)、汽車(chē)、航空航天的領(lǐng)域，而光纖傳感器主要應(yīng)用于需要長(zhǎng)距離信號(hào)傳輸和高精度測(cè)量的領(lǐng)域，有通信、能源、環(huán)境監(jiān)測(cè)。
就是采用mems技術(shù)制造的壓力傳感器。mems是微機(jī)電系統(tǒng)（micro-electro-mechanicalsystems）的英文縮寫(xiě)。mems是美國(guó)的叫法，在日本被稱(chēng)為微機(jī)械，在歐洲被稱(chēng)為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。mems是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的，目前mems加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化。
