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微分頭驅(qū)動(dòng)型DIWO1手動(dòng)位移滑臺(tái)
發(fā)布時(shí)間：2025-06-27 11:43:45點(diǎn)擊量：
高精度微分頭驅(qū)動(dòng)DIWO1手動(dòng)位移滑臺(tái)，分辨率達(dá)0.5μm，配備交叉滾柱導(dǎo)軌，重復(fù)定位精度±0.002mm。硬質(zhì)氧化鋁合金主體兼具輕量化與高剛性，適用于超精密光學(xué)調(diào)整、微納加工定位等亞微米級(jí)需求場(chǎng)景，是科研實(shí)驗(yàn)與高端制造的理想微位移平臺(tái)。
一、產(chǎn)品特點(diǎn)
·超微米驅(qū)動(dòng)：0.5μm微分頭，支持0.1μm微調(diào)（選配）
·零背隙結(jié)構(gòu)：彈性預(yù)緊機(jī)構(gòu)消除回程誤差
·熱穩(wěn)定設(shè)計(jì)：低熱膨脹材料+隔熱底座接口
·全封閉導(dǎo)軌：防塵密封，適合潔凈環(huán)境
·模塊化擴(kuò)展：支持XYZ多軸串聯(lián)
二、性能參數(shù)
·分辨率：0.5μm（標(biāo)配），可選0.1μm高精度微分頭
·重復(fù)精度：±0.002mm（20℃恒溫環(huán)境）
·最大負(fù)載：10kg（水平）/5kg（垂直）
·行程范圍：10-25mm（標(biāo)準(zhǔn)款），可定制50mm
·溫度敏感性：≤0.05μm/℃（配合恒溫底座）
三、核心應(yīng)用
1.超精密光學(xué)元件裝調(diào)
2.掃描探針顯微鏡樣品定位
3.微電子封裝設(shè)備對(duì)準(zhǔn)
4.量子實(shí)驗(yàn)裝置微位移控制
