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臺(tái)面方型DJU01/DJU11手動(dòng)位移滑臺(tái)
發(fā)布時(shí)間：2025-06-25 16:44:47點(diǎn)擊量：
臺(tái)面方型DJU01/DJU11系列手動(dòng)位移滑臺(tái)采用高精度交叉滾柱導(dǎo)軌與微分頭驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，專為超精密光學(xué)與微納制造設(shè)計(jì)。DJU01為標(biāo)準(zhǔn)型（±0.005mm），DJU11為增強(qiáng)型（±0.003mm），配備主動(dòng)溫控系統(tǒng)，熱穩(wěn)定性達(dá)±0.2μm/℃，適用于光刻機(jī)校準(zhǔn)、量子實(shí)驗(yàn)等高精度場(chǎng)景。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
（1）納米級(jí)精度：DJU11采用激光干涉儀校準(zhǔn)，分辨率0.001mm
（2）溫度穩(wěn)定：低膨脹合金基座（DJU11主動(dòng)溫控±0.1℃）
（3）無(wú)塵兼容：可選真空版本（10??Pa）
（4）智能監(jiān)測(cè)：DJU11內(nèi)置振動(dòng)傳感器（靈敏度0.1μm）
（5）快速切換：模塊化設(shè)計(jì)支持壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)升級(jí)
