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標(biāo)準(zhǔn)型DIL31手動位移滑臺
發(fā)布時間：2025-06-25 16:15:46點擊量：
標(biāo)準(zhǔn)型DIL31手動位移滑臺采用高精度交叉滾柱導(dǎo)軌與微分頭驅(qū)動系統(tǒng)，專為超精密測量與光學(xué)調(diào)整設(shè)計。其零膨脹合金基座配合主動溫控技術(shù)，實現(xiàn)±0.002mm重復(fù)定位精度，熱穩(wěn)定性達±0.1μm/℃，適用于光刻機校準(zhǔn)、量子實驗等納米級應(yīng)用場景。
產(chǎn)品特點：
1.納米級精度：預(yù)壓交叉滾柱導(dǎo)軌，背隙＜0.3μm
2.溫度穩(wěn)定：主動溫控系統(tǒng)（24小時漂移＜0.1μm）
3.無塵設(shè)計：真空兼容版本可選（10??Pa）
4.智能監(jiān)測：內(nèi)置振動傳感器（靈敏度0.01μm）
5.快速切換：模塊化結(jié)構(gòu)支持電動升級
