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電容式壓力傳感器與金屬體換能器電連接
發(fā)布時間:2021-07-30 17:35:29點(diǎn)擊量:
電容式壓力傳感器如何工作?
在電容式壓力傳感器上,如果兩電容極板之間的傳感膜片因壓差而變形,其本身與兩極板之間的電容不平衡原理就會起作用。這種不平衡在電容橋電路中被檢測到,并轉(zhuǎn)換成4到20毫安的直流輸出電流。
如圖所示,柔性膜片相對于固定板的運(yùn)動是通過電容的變化來感知的。次級隔離膜片用于保護(hù)傳感膜片。
電容式壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理圖

另一種類型的電容器使用同心中空金屬圓柱體。這種電容器就像板式電容器一樣,與面積成正比。
這個原理可以應(yīng)用于壓差測量,如圖所示。作用在隔離膜片上的壓力會在填充它們之間空間的硅油中產(chǎn)生類似的壓力。
與兩個壓力之差成正比的合力作用在金屬傳感膜片上,并將其偏轉(zhuǎn)到一側(cè)或另一側(cè),具體取決于哪個輸入壓力更大。
每個極板和傳感膜片形成一個電容器,該電容器與金屬體換能器電連接。

傳感器膜片和電容器因此形成了一個差分可變分離電容器。當(dāng)兩個輸入壓力相等時,膜片居中,電容相等。
兩個輸入壓力之間的差異導(dǎo)致傳感膜片的位移,并被感應(yīng)為兩個電容器之間的差異。
使用橋式電路測量等效壓力信號來測量電容的這種變化。


